概要
チラーの所定温度に達しない。メッセージをご説明します。
内容詳細
ExxA007: チラー:レーザー点灯のため所定温度に達しない。
環境温度が高いまたは低い場合か、チラーのフィルターが目詰まりしている場合に
このエラーになります。
適切な環境温度にするか、チラーのフィルターを清掃してください。
ExxA008: チラー:露光のための所定温度に達しない。
環境温度が高いまたは低い場合か、チラーのフィルターが目詰まりしている場合に
このエラーになります。
適切な環境温度にするか、チラーのフィルターを清掃してください。
